名称:三氟化氮
化学式:NF3
包装规格:44L、17L
纯度(%):99.99%
名称:三氟化氮
化学式:NF3
包装规格:44L、17L
纯度(%):99.99%
熔点:-206.8°C
沸点:-129°C
临界温度:-39.3°C
临界压力:4.46Mpa
三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
项目名称 | 纯度指标(%) | 用途 | ||
三氟化氮 | ≥99.99 | NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅的蚀刻,采用NF3和CF4+O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染。 | ||
杂质含量(ppm) | 氮气(N2) | ≤5 | ||
氧气+氩气(O2+Ar) | ≤3 | |||
二氧化碳(CO2) | ≤5 | |||
一氧化碳(CO) | ≤1 | |||
四氟化碳(CF4) | ≤40 | |||
水(H2O) | ≤1 | |||
六氟化硫(SF6) | ≤5 | |||
氟化氢(HF) | ≤1 | |||
氧化亚氮(N2O) | ≤5 |
包装及存放
三氣化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。三氧化氛气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射,与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。
三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸,防止钢瓶及附件破损
三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好,用汽车公路运输或用轮船集
装箱运输
泄漏应急处理
如遇有三氟化氮气体泄露,工作人员要马上撤离泄漏污染区,并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。如有工作人员中毒,应立即送往医院救治。
泄露现场要尽快处理,处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具,最好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员,泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。
三氟化氮气体产品质量标准(QJ58-2007
气瓶使用
1、使用气瓶前使用者应对气瓶进行安全状况检查。还应检查减压器、软管是否有泄漏、磨损及接头松懈等现象,并对盛装气体进行确认。检查出不合格的气瓶不能使用。
2、气瓶应在通风良好的场所使用。如果通风条件差或狭窄的场地里使用气瓶,应采用相应的措施,以防止出现氧气不足,或危险气体浓度加大的现象。安全措施主要包括强制通风、氧气监测、气体检测等。
3、气瓶的放置地点不得靠近热源,应与办公、居住区域保持10M以上间距。气瓶应防止曝晒、雨淋、水浸。环境温度超过40℃时,应采取遮阳等措施降温。
4、气瓶应立放使用,严禁卧放,并应采取防止倾倒的措施。
5、开启或关闭瓶阀时,应用手或专用扳手,不准使用其他工具,以防损坏阀件。装有手轮的阀门不能使用扳手。如果阀门损坏,应将气瓶隔离并及时维修。
6、应缓慢地开启或关闭瓶阀。打开气瓶阀门时,人站的位置要避开气瓶出气口。
7、气瓶使用完毕后应关闭阀门,释放减压器压力,并配戴好瓶帽。
8、瓶内气体不得用尽,必须留有剩余压力。压缩气体气瓶的剩余压力应不小于0.05Mpa。
9、气瓶投入使用后,不得对瓶体进行挖补、焊接修理。严禁将气瓶用作支架等其他用途。
10、气瓶使用完毕后,要妥善保管。空瓶上应标有“空瓶”标签;已用部份气体的气瓶,应标有“使用中”标签;未使用的满瓶气瓶,应标有“满瓶”标签。
11、使用过程中发现气瓶泄漏,要查找原因,及时采取整改措施。严禁在泄漏情况下使用气瓶。
气瓶存储
1、气瓶宜存储在室外带遮阳、雨蓬的场所。存储在室内时,建筑物应符合有关标准要求。气瓶存储室不得设在地下室或半地下室,也不能和办公室或休息室设在一起。
2、存储场所应通风、干燥,防止雨淋、水浸、避免阳光直射,严禁明火和其他热源,不得有地沟、暗道和底部通风孔,并且严禁任何管线穿过。
3、气瓶应分类存储,并设置标签。空瓶和满瓶分开存放。
4、气瓶应直立存储,用栏杆或支架加以固定或扎牢,禁止利用气瓶的瓶阀或头部来固定气瓶。支架或扎牢应采用阻燃的材料,同时应保护气瓶的底部免受腐蚀。
5、气瓶(包括空瓶)存储时应将瓶阀关闭,卸下减压器,戴上瓶旋紧气瓶帽,整齐排放。
6、气瓶在室内储存期间,特别是在夏季,应定期测试存储场所的温度和湿度,并做好记录。存储场所最高允许温度应根据盛装气体性质而确定,储存场所的相对湿度应控制在80%以下。
7、如果气瓶漏气,首先应根据气体性质做好相应的人体保护,在保证安全的前提下,关闭瓶阀,如果瓶阀失控或漏气点不在瓶阀上,应采取相应紧急处理措施。
8、应定期对存储场所的用电设备、通风设备、气瓶搬运工具和栅栏、防火、防毒器具进行检查,发现问题及时处理。